金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，华海清科股份有限公司申请了一项名为“晶圆旋转机构及晶圆后处理装置、方法“，公开号CN0.X，申请日期为2024年4月。

　　专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆旋转机构及晶圆清洗装置、方法，晶圆旋转机构包括转轴、转盘和遮挡件，转轴垂直于水平面设置，且转轴能够沿着其转动轴线转动；转盘同心设置至转轴的上端，以承托晶圆；遮挡件枢转连接至转盘，以在第一位置和第二位置之间枢转，且遮挡件位于转盘上的晶圆的外周；当转轴转动时，遮挡件由第二位置枢转至第一位置，使得遮挡件的顶部高于晶圆；当转轴停转时，遮挡件位于第二位置，使得遮挡件的顶部低于晶圆。根据本申请实施例的晶圆旋转机构，具有高度能够变化且能够与转轴同步转动的遮挡件，遮挡晶圆转动甩出的废液，又避免了阻碍传输机构与晶圆之间的交互。

　　特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。

　　世界杯近百年历史上，有一个规律——队史第三次夺冠和第四次夺冠，都相隔24年

　　有内科护士长住院13次、前台工作人员住院10次……五家医院涉嫌骗保被通报：涉案人员已被采取刑事强制措施

　　四川渠县一SUV冲进水果摊撞倒多人，目击者讲述事发过程，镇政府：7人受伤

　　杏宇

　　副局长接受老板宴请并饮酒，餐后又接受唱歌娱乐活动，被降级！局长被诫勉！

　　与中坚力量共成长，2024建信信托艺术大奖评委会特别奖获奖艺术家凌海鹏