奥特维取得硅片旋转装置和硅片分选机专利实现对待旋转的自动效果

日期:2024-08-04 10:52 | 人气:

  (原标题:奥特维取得硅片旋转装置和硅片分选机专利,实现对待旋转硅片的自动旋转效果)

  金融界2024年1月6日消息,杏宇平台据国家知识产权局公告,无锡奥特维科技股份有限公司取得一项名为“硅片旋转装置和硅片分选机”,授权公告号CN108493135B,申请日期为2018年4月。

  专利摘要显示,本申请揭示了一种硅片旋转装置和硅片分选机,属于硅片分选技术领域。该硅片旋转装置包括旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台,其中:旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔;旋转驱动部与旋转平台连接,旋转驱动部带动旋转平台在水平方向上旋转;升降驱动部同时驱动旋转驱动部和旋转平台进行升降运动。本申请利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片,利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转,达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响,还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

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